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アドテックCFRP製品の事例

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ワーク吸着テーブル

構成: フルCFRPハニカムパネル、低熱膨張ガラス
サイズ: 600mm × 600mm × 20t
平面度: 5μm以下
重量: 8kg
熱膨張率: -0.1 × 10-6 / K

ガントリーステージ(1軸ステージ)


構成: CFRP躯体、リニアモーター、エアベアリング
サイズ: B180㎜xH85㎜xL1450㎜(ビーム)
B330㎜xH165㎜xL420㎜(スライダ)
重量: 20kg(ビーム)
15kg(スライダ)
※モーター、エアベアリング重量除く
スライダ真直度: 2um以下

XYステージベース


構成: フルCFRPハニカムパネル(中抜き構造)
サイズ: 1000㎜x1000㎜x100t
重量: 15kg
※アクチュエータ重量除く

マシンベースコラム


構成: フルCFRPハニカムパネル
サイズ: 700㎜x700㎜x100t(ベース部)
600㎜x700㎜x110t(垂直コラム部)
重量: 15kg(ベース部)
12kg(垂直コラム部)

直角原器ベース


構成: フルCFRPハニカムパネル
サイズ: 500㎜x500㎜x50t
側面4辺を高精度加工対応可能
重量: 6kg

ブレッドボード


構成: フルCFRPハニカムパネル
サイズ: 600mmx600mmx50t
重量: 5kg
熱膨張率: -0.1 × 10⁻⁶ / K

※販売窓口:シグマ光機株式会社
CFRPブレッドボード (FB-CFRP) - オプティカルベース - ベース

平面度測定器


構成: CFRP-FML躯体2軸ステージ
サイズ: 1450mmx1150mmx1000mm
重量: 120kg
測定精度: ±1.5um@ワークサイズ□500mm

躯体のほとんどはCFRP製、但しFMLの為、表面は金属光沢
駆動系はエアベアリング浮上の平面モータ
底部を支えるのは慣性増幅機構を用いた除振台

バーミラー


構成: CFRPハニカムパネル、低熱膨張ガラス
サイズ: 500mmx50mmx55mm
重量: 1.1kg
平面度: λ/4以下

※最大対応可能サイズ:2m
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