ADTEC Engineering 株式会社アドテックエンジニアリング EnglishChineseKorean
ホームお問い合せサイトマップ
製品紹介お客様サポートアドテックワールド会社案内採用情報
ホーム >> 製品紹介 >> 露光装置(露光機) >> ADEX3000P
露光装置
オートピーラー
粉末成形機
精密加工/セラミックス部品
FA装置
中古機情報
ブラシ式サイクロンクリーナー

露光装置(露光機)

パターンニング用自動露光装置
ADEX3000P [ PDF ]
ADEX3000Pは、真空密着方式と加圧密着方式の2種類の選択が可能です。

搬送、密着方式、ゴミ対策、位置合わせ等で改良改善を加え、従来以上に高品質基板の安定生産を可能としました。

製品画像

※写真はクリーンローラー(オプション)搭載時です

特長
高精度アライメント
  • 露光ステージ上で位置合わせを行い、さらに露光直前での再確認を行うことにより、露光位置精度の信頼性を高めています。また、画像処理に形状サーチ方式を採用したことにより、マークの認識能力が向上しています。
  • さらに、従来のマーク按分方式に加え、新たにMMD(マーク間距離最小法)方式での位置合わせも可能としました。
薄板基板対応/1枚テーブル構造

露光ステージは継ぎ目の無い1枚テーブルの採用により、フレキシブル基板など薄板基板の安定した搬送・密着・露光が可能です。

ゴミ発生の抑制

反転機部分にクリーンローラーユニットを搭載できるスペースを設け、基板クリーニングが可能な構造とし、さらに新開発の自動マスク・プラテンクリーニング機構を標準搭載することで、ゴミによる不良の発生を抑制しました。

高速基板搬送機構

基板の搬送は真空密着によるハンド搬送です。ハンドの駆動は高速・高精細でクリーンな搬送を可能にしています。

スペーサーレス

従来からの加圧密着方式に加えて、今回新たに真空密着方式でもスペーサーレスを実現しました。(但し、一部サイズを除く)

リモートサポートサービス

露光装置と当社のサポートセンターを、インターネットで接続可能な構造としました。これにより、タッチパネル画面及び、画像処理画面等を互いに確認しながらの、より迅速かつ、わかり易いリアルタイムサポートが可能です。

製品に関するお問い合せは、お問い合せページよりお願いいたします。

電話・FAXでのお問い合せ
TEL  03-6369-9805  (平日9:00〜17:40)

FAX  03-6369-9803

 

E-Mail sales@adtec-eng.co.jp