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露光装置(露光機)

パターンニング用自動露光装置 [ New ]
ADEX3100P   ※ 詳細仕様については下記アドレスにお問い合わせください。
ADEX3100Pは、従来のADEX3000Pに比べて生産性を107%向上しました。従来機同様、真空密着方式と加圧密着方式の2種類の選択が可能です。

また、細部に渡り見直しを実施し搬送性、解像性、ゴミ対策、位置合わせ等で改良を施し高生産、高品質、高安定な装置として生まれ変わりました。

製品画像

※ 写真はクリーンローラー非搭載時です。
反転機直後のクリーンローラーはオプション搭載可能です。

特長
高精度アライメント

従来通り、露光ステージ上で位置合わせを行い、さらに露光直前での再確認を行うことにより、露光位置精度の信頼性を高めています。アライメントについてはマーク按分方式、MMD(マーク間距離最小法)方式を任意に選択でき、最適な設定での生産が可能です。

薄板基板対応/1枚テーブル構造

露光ステージは継ぎ目の無い1枚テーブルの採用により、フレキシブル基板など薄板基板の安定した搬送・密着・露光が可能です。

ゴミ発生の抑制

反転機部分にクリーンローラーユニットを搭載できるスペースを設け、基板クリーニングが可能な構造とし、自動マスク・プラテンクリーニング機構を標準搭載することで、ゴミによる不良の発生を抑制します。

高速基板搬送機構

基板の搬送はバキュームPADによるハンド搬送です。ハンドの駆動は高速・高精細でクリーンな搬送を可能にしています。

スペーサーレス

従来通り、加圧は元より、真空密着方式でもスペーサーレスを継承しております。

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