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露光装置(露光機)

ソルダーレジスト用自動露光装置
ADEX3300S
処理能力が進化した
MLB、HDI 対応ミドルレンジモデル
  • 当社オリジナル技術の内合わせ方式による露光ステージでの位置合わせを行い、位置合わせ精度±5μmの高精度のアライメントを実現
  • 搬送性、解像性、位置合わせ等、細部にわたる改良改善を加え、従来以上に高品質基板の安定生産が可能
製品画像

特長
タック対策

冷却水をプラテン(露光テーブル)に循環させて温度上昇を防ぐことで、基板のタックを最小限に抑えることができます。また、基板と接触する上面プレートは離型処理を施しており、交換も容易でメンテナンス性にも優れています。

解像度SEM画像

L/S:30/30μm
【露光条件】
フィルムマスク
ドライフィルムレジスト厚み t=25μm

SRO:φ75μm
【露光条件】
フィルムマスク

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