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露光装置(露光機)

高精細自動露光装置
ADEX4000P/S
ミドルレンジからハイエンドまで対応する多彩な機能を低価格で実現
  • 分割シャッターを標準搭載することで、高精細基板の生産に求められるオーバーレイヤー精度が向上
  • 当社オリジナル技術の内合わせ方式による露光ステージでの位置合わせを行い、高精度のアライメントを実現
製品画像

特長
非接触式 基板吸着ハンド

非接触Padの採用により露光製品面の吸着痕が発生せず、極薄基板でも安定した搬送が可能になりました。従来の接触式Padは基板端を確実に真空吸着固定し、基板中心付近に非接触Padを搭載することで、基板のたわみを抑制し、板厚0.025mmまでの基板に適応します。(Sモデルのみ)

解像度SEM画像

L/S:15/15μm
【露光条件】
ガラスマスク
ドライフィルムレジスト厚み t=25μm

SRO:φ50μm
【露光条件】
フィルムマスク

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