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露光装置(露光機)

自動露光装置 [ New ]
ADEX5250 series   ※ 詳細仕様については下記アドレスにお問い合わせください。
従来機種ADEX5200後継機として生産性を従来比107%改善したADEX5250seriesを開発致しました。
高精細基板の生産に求められるオーバーレイヤー精度向上の為、分割シャッターを搭載したコンタクト式露光装置の最上位機種です。

モデルは、パターンニング用とソルダーレジスト用に大別され、フリップチップパッケージ基板に特化した専用モデルも用意しております。

製品画像

特長
分割露光(分割シャッター機能)

基板やマスクの伸縮の影響を最小限に抑えるよう、露光エリア以外をシャッターで遮光し、2分割・3分割・4分割6分割露光を行います。アライメントは分割エリア面毎に行いますので、オーバーレイヤー精度が向上します。また、従来の露光装置と同様に一括露光も可能です。

分割露光(分割シャッター機能)とは

極薄板基板対応

基板の搬送方式には、当社独自の吸着ハンド搬送を採用し、高速かつ極薄板基板の搬送が可能です。また、ソルダーレジスト用モデルには、非接触型の吸着機構を追加し、基板と吸着パッドの接触部分を必要最低限の基板端のみに留めています。

自動プラテン/マスククリーニング機構

露光室内にクリーンローラーと集塵ノズルを標準搭載し、設定枚数毎にマスクとプラテンのクリーニングを自動で行います。これにより、基板が持ち込むゴミの影響を抑制できるだけでなく、作業者によるクリーニング作業時間の軽減にもつながります。

消耗品交換・メンテナンス時期 管理機能

各種消耗品の交換時期、メンテナンス箇所のメンテナンス期限を予め設定しておく事で、装置稼動中に警告を表示し、作業者に注意を促します。

Uーコンタクト方式の採用

当社独自のUーコンタクト方式の採用により、高速かつ、均一で安定した密着が可能となりました。
また、この方式により完全スペーサーレスを実現したほか、パターンニング用モデルでは基板サイズを限定することで、更に高解像度が可能となりました。

MLS(マルチランプシステム)

ソルダーレジスト用露光装置向けとして、定評頂いているMLS搭載機もラインナップしております。 MLSは、従来の光源(5Kw平行光)に比べ、約1.5倍換算の高エネルギーで露光時間を短縮できるほか、ランプ交換が容易かつ、寿命が2000時間と長寿命であることから、ランニングコストの大幅低減が可能。

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