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露光装置(露光機)

大判用高精細露光装置/高精細自動露光装置
ADEX5300 5250P/S   ※ 詳細仕様については下記アドレスにお問い合わせください。
より高精細な露光が可能な充実のハイエンドモデル
  • 最大6分割露光に対応することで、従来機種よりも高い精度の露光を実現
  • 当社オリジナル技術の内合わせ方式による露光ステージでの位置合わせを行い、高精度のアライメントを実現
  • パターニング用、ソルダーレジスト用に加えてパッケージ基板専用モデルも用意
  • 大判向けもラインナップし、幅広い製品に対応可能
製品画像

特長
大判対応による生産性向上

生産性向上のため、基板サイズを最大610×711mm(24inch×28inch)の大判に対応させ、面取り性改善に大きく寄与します。また、高速基板搬送により、従来モデルよりメカタクトを大幅に短縮し、業界最速の生産性を実現しました。

高精度アライメント

従来モデルより搭載している分割露光に加え、アライメント精度をさらに向上させることにより、基板やマスクの伸縮による影響を最小限に抑えます。

解像度SEM画像

L/S:12/12μm
【露光条件】
ガラスマスク
ドライフィルムレジスト厚み t=25μm

L/S:20/20μm
【露光条件】
フィルムマスク
ドライフィルムレジスト厚み t=25μm

SRO:φ50μm
【露光条件】
フィルムマスク

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TEL  03-6369-9805  (平日9:00〜17:40)

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