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露光装置(露光機)

ソルダーレジスト用高生産高精細自動露光装置
ADEX6000S   ※ 詳細仕様については下記アドレスにお問い合わせください。
最上位の高生産性を誇る、ソルダーレジスト向けフラッグシップモデル
  • 高照度10kW平行光ランプ、高速搬送機構を搭載し、高い生産性を実現
  • リジッド基板からFPCにまで幅広く対応(最薄0.025mmtに対応)
  • 高精度アライメント、最大6分割露光対応など、従来モデルの機能も充実搭載
製品画像

特長
高精度アライメント

従来モデルより搭載している分割露光に加え、アライメント精度をさらに向上させることにより、基板やマスクの伸縮による影響を最小限に抑えます。

全ての機能において精度が向上

装置タクト、露光時間を大幅に短縮させ、高生産性を実現。さらに、SRO=φ50μmの高解像度、±3μmの高いアライメント精度など、精密な露光に必要な高い性能を搭載しています。

解像度SEM画像

SRO:φ50μm
【露光条件】
フィルムマスク

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