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露光装置(露光機)

FPC/TSP用 Roll to Roll式自動露光装置
AFLX2600P5
FPC/TSPの生産に特化した
Roll to Roll搬送を搭載
  • 250mmと500mm幅のロール材に標準対応
  • 大面積露光で高い生産性を実現すると共に、上下マスク双方にアライメント機構を搭載し、両片面、多層FPC、TSPなど、多彩な用途に柔軟に対応
  • リジッド基板で培った当社独自技術であるUコンタクト方式を採用することで、高い解像性を実現
製品画像

特長
高生産性

拡大するロール材料と同期し、600×500mmの大面積両面一括露光を実現しました。250mm幅にも対応し、高スループットと合わせ、高い生産性を発揮します。TSP用途では、露光面積を最大650×550mmまで拡大するオプションも用意しています。

ロール材料のストレス軽減

ロール材料の間欠送りに欠かせないバッファ機構は、水平方向のコンペンセータ方式を採用しました。垂直方向のダンサーローラ方式における、始動・停止時の重力加速度による張力の変動を極力抑え、材料のストレスを軽減します。

解像度SEM画像

L/S:20/20μm
【露光条件】
フィルムマスク
ドライフィルムレジスト厚み t=15μm

L/S:12/12μm
【露光条件】
ガラスマスク
ドライフィルムレジスト厚み t=15μm

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