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ブラシ式サイクロンクリーナー

露光装置(露光機)

LINE UP

装置画像

主な用途

HDI Entry

IP-15 3700E

MLB
HDI
FPC

HDI Standard

IP-15 3750

IP-15 3750H

Stabi Fast

IP-15 5000H

MLB
HDI
FPC

IP-15 5000UH

For Large Panel

IP-15 L3800

MLB
HDI
TSP

IP-15 L3800H

Stabi Fine

IP-12 6000

HDI
MODULE
PKG

IP-12 6000H

IP-12 6000UH

PKG Standard

IP-8 8000

MODULE
PKG

IP-8 8000H

E Fine Prologue

IP-6 9000

MODULE
PKG

IP-6 9000H

品質、スピード、安定性。独自技術で世界最高のシステムバランスを実現。
世界の先進ユーザーが選び続けるダイレクト露光装置、INPREX。
内外層パターンニング向け 直接描画式自動露光装置 [ New ]
※ 詳細仕様については下記アドレスにお問い合わせください。
世界初の量産ライン対応の全自動ダイレクト露光装置として誕生したINPREX。

高精細描画と高速露光を高い次元で両立。
また、クランプをはじめとした新機能により、イレギュラー基板への対応力が格段に向上し、装置停止時間を極限まで削減。
圧倒的な一日当たりの生産数量を達成し、世界の先進基板メーカー様の量産ラインで、安定稼働の実績を積み重ねております。INPREXは世界最高のシステム場欄を実現した新世代ダイレクト露光装置です。

製品画像

※本装置は、全ての装置カバーを閉じた状態で「クラス1レーザー製品」です。

特長
ダイレクト露光

独自レーザーユニットに先進レンズ設計技術を融合した新描画エンジンを搭載。高品位・高出力のレーザーヘッドを基板幅でライン配置することにより、ワンタイムスキャンを実現、大判サイズでも高速露光が可能です。

高精細パターン

画素ピッチ1.0μmのファインパターン露光を実現。また、全モデル共通の実践的な2.5μmピッチでも、高度なスムージング処理枝術に加え、新画像処理アルゴリズムの採用によって、ジャギーのない、より滑らかな描画が可能となりました。パッケージ基板、モジュール基板など高精細さを必要とする基板にも十分な実力を備えています。

高精度アライメント

生産する基板の変形や位置ズレに対して、多種多様な補正機能を準備しています。単純なX,Yにスケーリング変更する倍率補正はもちろん、平行四辺形や歪に歪んだ基板も自由変形補正機能によって自在に設計データを補正し露光ができます。さらにその適応範囲は生産Lot毎、あらかじめ登録されたグループ毎、あるいは一枚毎多彩な設定選択肢も大きな魅力です。

システム構成

設計現場でCAM編集されたCADデータを生産現場のジョブサーバーがネットワーク(またはメディア)で受け取り、ジョブ生成して露光。設計部門から露光機にデータがダイレクトに渡るのでミスが発生しません。

メカニカル・クランプ機能

真空吸着のみの基板固定方法と比較して安定性が格段に向上。機械的に基板を押さえるので、反り基板も露光テーブルに確実に固定できます。

ワイドレンジ・オートフォーカス機能

基板の反りやうねりによる高さ変化や、ビルドアップ層の徴妙な凹凸に対応する当社独自開発のワイドレンジ・オートフォーカス機能を露光ヘッド毎に搭載。露光面の高低に追従し、ピントずれが発生しません。

アライメント・リトライ機能

マーク位置ずれや、外形寸法のばらつきによるアライメントエラー発生時も、ライン停止なしで、基板位置を自動調整し、アライメントを再実行。リジェクトされる基板が滅り生産性が向上します。

製品に関するお問い合せは、お問い合せページよりお願いいたします。

電話・FAXでのお問い合せ
TEL  03-6369-9805  (平日9:00〜17:40)

FAX  03-6369-9803

 

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