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露光装置(露光機)

INPREXシリーズに、ソルダーレジスト対応モデルが新登場。
ソルダーレジスト向け 直接描画式自動露光装置 [ New ]
IS-4000H [ PDF ] ※ 詳細仕様については下記アドレスにお問い合わせください。
2005年の登場以来、国内外から高い評価を得るダイレクトイメージング露光機、INPREX。

新たに、これまでのパターニング機をベースにI線近傍の光源を搭載した、ソルダーレジスト対応モデルが登場。
搬送系や露光テーブルにも改良を加えることで、高精細と高生産性の両立を実現しています。

製品画像

※本装置は、全ての装置カバーを閉じた状態で「クラス1レーザー製品」です。

特長
さらなる高精細パターンが可能に

独自レーザーユニットに先進レンズ設計技術を融合した新描画エンジンを搭載。高品位・高出力のレーザーヘッドを基板幅でライン配置することにより、ワンタイムスキャンを実現、大判サイズでも高速露光が可能です。

コーティングプレート

ステージには吸着はブロワータイプを採用し、貼り付き防止のためのコーティングプレートを採用。

アウトガス対策

ヘッド周りには、Outgas対策として、業界初のペリクル*を採用。

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