JPCA Show 2018 BEYOND 2018.6.6〜6.8 Tokyo bigsight

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inprexDirect Imaging Exposure System

品質、スピード、安定性。独自技術で世界最高のシステムバランスを実現。
世界の先進ユーザーが選び続けるダイレクト露光装置、INPREX。

INPREX – the choice of advanced users around the world – employs our unique direct imaging exposure technology to create the finest system performance. Consistent quality, speed and stability are thus assured.

12sec/枚 ※1

ワンタイムスキャン/ダイレクト露光

独自レーザーユニットに、先進レンズ設計技術を融合した新描画エンジンを搭載。高品位・高出力のレーザーヘッドを基板幅でライン配置することにより、ワンタイムスキャンも実現。
ヘッド間でのつなぎやズレのない高品質露光を実現します。

※1 IP-15 5000UH 当社指定条件による

One-time Scan/Direct Exposure

A new rendering engine that is integrated with advanced lens design technology is on-board our proprietary laser unit. One-time scan was also realized by arranging high quality and output laser heads in line at the board width. High quality exposure without shifting and misalignment between heads is achieved.

※1 IP-15 5000UH under our specified conditions

補正範囲±400μm

ワイドレンジ・オートフォーカス機能

基板の反りやうねりによる高さ変化や、ビルドアップ層の微妙な凹凸に対応する当社独自開発のワイドレンジ・オートフォーカス機能を露光ヘッド毎に搭載。
露光面の高低に追従し、ピントずれが発生しません。

Wide range autofocus function

Each exposure head has our unique wide range autofocus function that deals with height variations due to warpage or undulation of the panel and the slight irregularities of the buildup layers. The focus is adjusted according to the undulation of the exposed surface without any loss of focus occurring.

アライメント・リトライ機能

マーク位置ずれや、外形寸法のばらつきによるアライメントエラー発生時も、ライン停止なしで、基板位置を自動調整し、アライメントを再実行。
リジェクトされる基板が減り生産性が向上します。

Alignment retry function

Even if an alignment error occurs due to a wrong alignment mark position,INPREX resets the panel at the suitable position of exposure stage by Autocarrier mechanics. Since this motion, so called alignment retry, can be done automatically, it decreases the number of rejects due to alignment error, thus enhances the productivity.

アライメント精度±5μm IP-6 9000H

01

計測エラー時
(開始状態)

Measurement error
(at the intial stage)

02

基板を持ち上げて
オフセット補正

Lifts the board and
performs offset
correction

03

基板を再セット

Resets the board

04

ステージ回転で
θ補正後に計測リトライ

Corrects θ by rotating the stage retries measurement

アライメントマーク Alignment mark

オートキャリアのアーム送り(X) Feeding with the auto carrier arm(X)

露光機のステージ送り(Y) Feeding with the exposure stage(Y)

露光機のステージ回転(θ) Rotation wth the exposure stage(θ)

走査方向(計測リトライ) Scanning direction (retry of measurement)

ADEX/AFLXContact Exposure System

最上位の高生産性を誇る
コンタクト露光装置。

Contact exposure systems that have the highest level of productivity

ランニングコストの削減

Reduce running costs

LED光源

LED光源の採用により、従来の水銀ランプに比べて、光源寿命が飛躍的に延びたことで消耗品(水銀ランプ)レス・光源交換作業工数の削減・消費電力の抑制など、トータルランニングコストの大幅削減を実現しました。

LED

Adopting an LED light source extends the life of the light source remarkably compared to conventional mercury lamps, contributing to a significant reduction in total running costs, including a reduction in the use of consumables (i.e.mercury lamp), a reduced need to continually replace the light source, and a reduction in electricity consumption.

1光源2露光平行光源

上流側、下流側を1つの光源(ランプ)で兼用するため、ランニングコストに優れています。(ADEX3300P/ADEX3300PL-LED)

One Light Source Two Exposures
Collimated Light Source

Use of only one light source (lamp) for both upstream and downstream sides realizes economical running costs. (ADEX3300P/ADEX3300PL-LED)

消費電力を
大幅に抑える

Significantly reduce power consumption

ADEX3300P/ADEX3300PL-LED

高い段取り性

コピーフレームは装置手前に引き出せる構造です。
フィルムマスク自動取付機能によって、マスク交換作業がさらに容易になりました。
従来のようにフィルムマスクテープを固定する必要はありません。
また、トップ側のコピーフレームは回転することでメンテナンス性にも配慮しており、ユーザーフレンドリーな装置となっています。

High Setup Performance

The copy frame is structured so that it can be pulled out to the front of the system. The automatic film-mask mounting function makes mask replacement work easier than ever before.
The previous process of securing the film mask by tape is no longer necessary.
In addition, the top-side copy frame rotates to realize ease of maintainability, making this a user-friendly system.

高いユーザービリティー性と高機能性の両立

Combination of high usability and high functionality

ADEX2300P/ADEX1300P

優れたメンテナンス性/作業時間短縮/ユーザーフレンドリー Maintainability/Time saving/User-frienfly

Lineup

Direct Imaging

回路形成用 直描式自動露光装置Direct Imaging automatic exposure system for circuit formation

IP-6 series...IP-6 9500H,IP-6 9000,IP-6 9000H

IP-6 SERIES

IP-6 9500H IP-6 9000 IP-6 9000H
IP-8 series...IP-8 8000,IP-8 8000H/
										 IP-12 series...IP-12 6000,IP-12 6000H/
										 IP-10 series...IP-10 7000,IP-10 7000H

IP-8 SERIES

IP-8 8000 IP-8 8000H

IP-12 SERIES

IP-12 6000 IP-12 6000H

IP-10 SERIES

IP-10 7000 IP-10 7000H
IP-15 SERIES...IP-15 L3800,IP-15 L3800H,IP-15 L3800H,IP-15 5000UH

IP-15 SERIES

IP-15 L3800 IP-15 L3800H IP-15 5000H IP-15 5000UH

ソルダーレジスト用 直描式自動露光装置Direct Imaging automatic exposure system for solder mask

IS SERIES...IS-4000H

IS SERIES

IS-4000H

直描式半自動露光装置Direct Imaging Manual exposure system

HM SERIES...IP-M

HM SERIES

IP-M

内層用両面アライメントマーキング装置Doubleside Alignment Maker

AMRK SERIES...AMRK1000,AMRK2000

AMRK SERIES

AMRK1000 AMRK2000

極薄板対応
フィルム剥離装置AUTO PEELER

ACPM650A
ACPM650A

DE Series
回路形成用 直描式自動露光装置DE Series Direct Imaging automatic exposure system for circuit formation

DE SERIES...DE-8WH

DE SERIES

DE-8WH
DE SERIES...DE-6UHⅢ

DE SERIES

DE-6UHⅢ
DE SERIES...DE-7UHE

DE SERIES

DE-7UHE
DE SERIES...DE-7ES

DE SERIES

DE-7ES

Contact Type

ソルダーレジスト用
高生産高精細自動露光装置Automatic Exposure System for High-Productivity, High-definition PCBs, for Solder mask

ADEX6000S,ADEX5300 P/S,ADEX5250 P/S,ADEX4000 P/S
ADEX6000S

高精細自動露光装置Automatic Exposure System for High-definition PCBs

ADEX6000S,ADEX5300 P/S,ADEX5250 P/S,ADEX4000 P/S
ADEX5300 P/S
ADEX6000S,ADEX5300 P/S,ADEX5250 P/S,ADEX4000 P/S
ADEX5250 P/S
ADEX6000S,ADEX5300 P/S,ADEX5250 P/S,ADEX4000 P/S
ADEX4000 P/S

回路形成用
自動露光装置 UV-LEDAutomatic Exposure Syetem for Circuit Formation

ADEX3300PL-LED,ADEX3300P-LED
ADEX3300PL-LED ADEX3300P-LED

回路形成用
自動露光装置Automatic Exposure Syetem for Circuit Formation

ADEX3300P
ADEX3300P

ソルダーレジスト用
自動露光装置 UV-LEDAutomatic Exposure Syetem for For Solder Resists

ADEX3300SL-LED,ADEX3300S-LED
ADEX3300SL-LED ADEX3300S-LED

ソルダーレジスト用
自動露光装置Automatic Exposure Syetem for For Solder Resists

ADEX3300S
ADEX3300S

内層用両面同時自動露光装置Double-sided Simultaneous Automatic Exposure System for Inner Layers

ADEX2300P,ADEX1300P
ADEX2300P ADEX1300P

FPC/TSP用
Roll to Roll式自動露光装置Roll-to-roll Automatic exposure System for FPCs/TSPs

AFLX2600P5
AFLX2600P5

EV Series
回路形成用自動露光装置EV Series Automatic Exposure Syetem for Circuit Formation

EV-2400
EV-2400
EV-7100
EV-7100

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