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镭射靶点标记机

コンテンツ2

内層用両面アライメントマーキング装置の画像

内层用双面对位打靶装置
AMRK1000 / AMRK2000(Large Size)

在没有基准孔的内层基板的甘膜上,通过紫外线曝光形成对位用靶点的装置。
通过该装置,不再需要在单面→反转单面进行曝光机中必不可少的基准孔加工。

特长

削减内层基板的基准孔加工(通孔)的工序!

  • 安装于曝光机之前,在基板上层叠的DFR(干膜)照射UV曝光,形成基准标靶点。
  • 能够防止由于基准孔加工时产生的毛刺而导致的标记的识别错误,可以在清洁环境下形成靶点。

Existing process flowの画像

动作概况

動作イメージの画像

主要规格

项目 规格 备考
打靶方式 通过UV-LED进行曝光打靶
LED波长 405nm
靶点数 4个(表面背面2个×前后2处)
靶点位置重复精度 ±0.5mm 预对位的偏差
表面背面靶点位置重复精度 ±10μm 表面背面的靶点位置的偏差
搬送高度 950±50mm
装置重量 100kg
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