H1

Product Lineup<DI>

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<품질><스피드><안정성> 독자적인 기술로 세계 최고의 시스템 밸런스를 실현.

세계의 선진 유저들이 선택하는 세계 최초의 양산 라인 대응 전자동 다이렉트 이미징 노광장비 <INPREX>.
고정밀 묘화와 고속 노광을 높은 차원에서 양립시켰습니다. 또한 메카니컬 클램프와 오토 포커스 기능으로 불규칙한 기판에 대응하는 능력이 현격하게 향상되어 장비 정지 시간을 극한까지 줄였습니다. 압도적인 일일 생산량을 달성하여 세계 선진 기판 제조사의 양산 라인에서 안정 가동 실적을 쌓아 올리고 있습니다.
INPREX는 세계 최고의 시스템 밸런스를 실현한 신세대 다이렉트 노광장비입니다.

 

IP-4

  


L/S = 4/4μm*
PKG
30W/40W
405 nm
*Champion

IP-6 9500

  


L/S = 6/6μm
PKG
30W/40W
405 nm

IP-6 9000

  


L/S = 6/6μm
PKG
30W/40W
405 nm

IP-8 8000

  

L/S = 8/8μm
PKG
30W/40W
405 nm

IP-10 7000

  


L/S = 10/10μm
MSAP
30W/40W
405 nm

IP-12 6000

  

L/S = 12/12μm
MSAP
30W/40W
405 nm

IP-15 L3800

  

L/S = 15/15μm
HDI/MLB
45W/54W
405 nm

IP-15 UHS

  


L/S = 15/15μm
HDI
50W
405 nm

IP-35 1000

  


L/S = 35/35μm
MLB
40W
405 nm

IP-12 HR

 

  


L/S = 12/12μm
FPC
40W
405 nm

IS-4000H

  

SRO=φ50μm
PKG/HDI
30W/40W
405 + 375 nm

DE-8WH

  


L/S = 2/2μm
FO-WLP
8W×8
405 nm

DE-6UHⅢ

  


L/S = 5/5μm
PKG
8W×6
405 nm

DE-7UHE

  

L/S = 8/8μm
WLCSP
8W×7
405 nm

DE-7ES

  

L/S = 15/15μm
HDI
8W×7
405 nm