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노광 방식
직접묘화식
기판 사이즈
334×334~534×622mm
노광 광원
Laser Diode / 405nm
해상 능력
L/S = 12/12μm
얼라이먼트
±10μm
진행 방향
우→좌(R진행) ※한쪽 기계
진공 밀착 방식
250×300~510×610mm
2등식/5kW초고압 수은 램프
SRO = Φ50 μm
±5μm
우→좌(R진행)
250×300~535×625mm
1등식/5kW초고압 수은 램프
L/S = 40/40μm
좌→우(L진행)
가압 밀착 방식
①:좌→우(L진행) ②:좌→우(L진행)
2등식/10kW메탈 핼라이드 램프
φ100μm
254×305~559×635mm
L/S = 75/75μm
±10μm/±5μm
①:우→좌(R진행) ②:좌→우(L진행)
250mm또는500mm
250×330~535×635mm
5kW초고압 수은 램프
250×250~535×635mm
―
334×334~551×640mm
레이저 다이오드/ 375+405nm
L/S = 15/15 μm
±7.5μm