H1

レンズエクスチェンジャー

汎用DB:詳細
半導体搬送装置

概要

重量のある高精度光学レンズを真空チャンバ内の測定器に載せ降ろしを行なう装置です。

従来、重量350kgを超えるレンズユニットを狭い真空チャンバ内で作業者数名で測定器に設置,測定,交換を行っていましたが、本装置の導入によって容易かつ安全にレンズユニットの交換作業が可能となりました。

特長

●高価なレンズユニットの取り扱い,恒温槽内の狭小スペースで複雑な経路に重量物を移戴するために6軸制御を採用し、自動化するため高剛性かつコンパクトな設計と致しました。。
●繰り返し位置決め精度:±0.1mm以下を実現しています。

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