H1

Product Lineup<DI>

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「品質」、 「速度」、 「穩定性」 憑藉自主技術實現世界最高水準的系統平衡。

「INPREX」是全球尖端用戶一直選擇使用的世界最初的可支援批量生產線的全自動直接成像曝光機。
該設備兼顧高解析和高速曝光。另外,通過機械夾具和自動對焦功能,對不規則基板的處理能力大幅提高,將裝置停止時間減少到極限。實現了壓倒性的單日生產量,在世界尖端基板廠商的批量生產線上,積累了穩定運轉的實績。
INPREX是實現世界最高水準的系統平衡的新一代直接成像曝光機。

 

IP-4

  


L/S = 4/4μm*
PKG
30W/40W
405 nm
*Champion

IP-6 9500

  


L/S = 6/6μm
PKG
30W/40W
405 nm

IP-6 9000

  


L/S = 6/6μm
PKG
30W/40W
405 nm

IP-8 8000

  

L/S = 8/8μm
PKG
30W/40W
405 nm

IP-10 7000

  


L/S = 10/10μm
MSAP
30W/40W
405 nm

IP-12 6000

  

L/S = 12/12μm
MSAP
30W/40W
405 nm

IP-15 L3800

  

L/S = 15/15μm
HDI/MLB
45W/54W
405 nm

IP-15 UHS

  


L/S = 15/15μm
HDI
50W
405 nm

IP-35 1000

  


L/S = 35/35μm
MLB
40W
405 nm

IP-12 HR

 

  


L/S = 12/12μm
FPC
40W
405 nm

IS-4000H

  

SRO=φ50μm
PKG/HDI
30W/40W
405 + 375 nm

DE-8WH

  


L/S = 2/2μm
FO-WLP
8W×8
405 nm

DE-6UHⅢ

  


L/S = 5/5μm
PKG
8W×6
405 nm

DE-7UHE

  

L/S = 8/8μm
WLCSP
8W×7
405 nm

DE-7ES

  

L/S = 15/15μm
HDI
8W×7
405 nm