「品質」、 「速度」、 「穩定性」 憑藉自主技術實現世界最高水準的系統平衡。
「INPREX」是全球尖端用戶一直選擇使用的世界最初的可支援批量生產線的全自動直接成像曝光機。
該設備兼顧高解析和高速曝光。另外,通過機械夾具和自動對焦功能,對不規則基板的處理能力大幅提高,將裝置停止時間減少到極限。實現了壓倒性的單日生產量,在世界尖端基板廠商的批量生產線上,積累了穩定運轉的實績。
INPREX是實現世界最高水準的系統平衡的新一代直接成像曝光機。
IP-4
L/S = 4/4μm*
PKG
40W/50W
405 nm
*Champion
IP-6
L/S = 6/6μm
PKG
40W/50W
405 nm
IP-8
L/S = 8/8μm
PKG
40W/50W
405 nm
IP-10
L/S = 10/10μm
MSAP
40W/50W
405 nm
IP-12
L/S = 12/12μm
MSAP
40W/50W
405 nm
IP-15 LUHS
L/S = 15/15μm
HDI
54W
405 nm
IP-15 UHS
L/S = 15/15μm
HDI
40W/50W
405 nm
IP-15 UHT
L/S = 15/15μm
HDI
50W
405 nm
IP-24SW
L/S = 15/15μm
L/S = 24/24μm
MLB/HDI
50W
405 nm
IP-6 HR
L/S = 6/6μm
FPC
50W
405 nm
IS-4000H
SRO=φ50μm
PKG/HDI
30W/40W
405 + 375 nm