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얼라이먼트마킹장비

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内層用両面アライメントマーキング装置の画像

내층용 양면 얼라이먼트 마킹 장비
AMRK1000 / AMRK2000（Large Size)

기준홀이 없는 내층 기판의DFR 위에 얼라이먼트용 마크를 자외선 노광으로 형성하는 장비 입니다.
한쪽 면이 뒤집힌 형태로 반대쪽 면을 구성하는 노광장비에서는 필수였던 기준홀 가공이 이장비에서는 필요하지 않습니다.

특징

내층 기판의 기준홀 가공(스루홀) 공정을 삭감합니다!

  • 노광장비 직전에 설치하여, 기판에 라미네이트 처리된DFR(드라이 필름 레지스트) 쪽으로 UV 노광을 비추어 기준 마크를 형성합니다.
  • 기준홀 가공시에 발생하는 돌기에 의한 마크 오인식을 미연에 방지할 수 있어 클린한 환경에서 마크 형성이 가능합니다.

Existing process flowの画像

동작 이미지

動作イメージの画像

주요 사양

항목 사양 비고
마킹 방식 UV-LED에 의한 노광 마킹
LED파장 405nm
마크 개수 4개 (앞뒤 2개×전후 2곳)
마크 위치 반복 정밀도 ±0.5mm ※프리얼라이먼트 오차
앞뒷면 마크 위치 반복 정밀도 ±10μm ※앞뒷면 마크 위치 오차
통과 높이 950±50mm
장비중량 100kg
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