오토필러

특징

깨끗한 박리

• 에어 블로우를 이용하지 않고 점착 롤러로 박리하기 때문에 칩이 날아가 문제가 되는 일을 격감할 수 있습니다.
• HEPA 필터에 의한 다운 플로우도 가능합니다.（옵션）

판 두께에 따르는 작업 준비 생략（간단화）

• 기판의 두께・크기에 따라 준비작업을 할 필요가 없습니다.
• 박리에 실패한 기판은 NG스톡커에 단으로 쌓고 최대 4장까지 스톡 가능합니다.
• 초음파센서 탑재로 필름 박리 유무를 확실하게 검출합니다.

극박판 대응

• 기판 두께　0.025～3.2mm（기판 재료 두께）대응.
• 새로 개발된 횡이동식 로렛을 탑재해 박리가 용이해졌습니다.
• 투입측의 기판 끝을 기계척으로 고정하기때문에 이전부터의 과제였던 박판이 점착 롤러에 감기는 것을 방지할 수 있습니다.
• 컨베어부는 롤러 피치를 작게 함으로써 안정적인 반송이 가능합니다.