사이클론 브러시와 흡진만으로 구성된 심플한 건식 세정기입니다.
ECONOMY
ECOLOGY
EASY MAINTENANCE
사양
| 대응 기판 폭 |
300～650mm |
| 대응 기판 두께 |
리지드 기판 0.04～3.2mm |
| 브러시 선 직경 |
VSC:약30µm
LSC:약18～30µm |
| 브러시 회전수 |
＊＊＊rpm(50Hz) |
| 흡진 능력 |
5㎥／min 1.5kPa(50Hz 설정 시)
필터: 5µ이상 99% 포집 |
| 표준 통과 높이 |
895～945mm |
| 컨베이어 속도 |
0.6~3 또는 1.8~6m/min |
| 유틸리티 |
AC100～110V 9A 집진기 포함
정전기제거기용 CDA접속 가능
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| 장비 크기 |
W350×D1000×H1150mm |
| 장비 각 중량 |
본체: 120㎏
집진기: 50㎏
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트윈 사이클론 원리
트윈 사이클론이란・・・
- 브러시가 위아래로 2개 연속 장착＝트윈 브러시 기구
- 제품 진행 방향에 관계없이 브러시 위아래가 안쪽으로 회전하여 이물질을 바깥으로 놓치지 않는 구조.
- 브러시 안쪽으로 쓸어 보낸 이물질을 위아래의 집진 호스에 의해 효율적으로 흡인한다.
- 사이클론헤드→브러시 간의 호환성을 고려한 친절 설계(카트리지 타입)
심플함속에숨겨진장인정신
1을클릭하시면상세내용을확인할수있습니다.
1유틸리티
- AC100～110V 9A
- CDA(Φ6)에 접속하여 정전기 제거 효율 확보
- 각종 전압에 대응 가능
※제조사 옵션
2집진기배기구
※제조사 옵션
- 공장 배기관 접속 지원
- 클린룸에서 사용할 경우에는 필수 기능
- ID125.150.200mm 덕트는 준비해 주십시오
3흡착 컨베이어 조절기
흡착 컨베이어의 흡착력 조정 가능
기판 반송에 가장 알맞게 조정해 주십시오
4제 이온나이저
배출하는 쪽 윗면에 표준 장비
최대 4곳에설치가능
※제조사 옵션
5사이클론 소프트 브러시
[VSC용]
먼지 제거나 미세 돌기 제거 등 여러 상황에 대응
[LSC용]
L/S 75μm이하에서 긁어내기에 뛰어남
금으로 도금한 면도 상처내지 않는 특수 파이버를 채용한 오리지널 소프트 브러시
6V형 트윈 사이클론
- 사이클론 헤드를 V형으로 배치함으로써 얇은 기판 등도 안전하게 반송
- 기판 두께 0.04~3.2mm에 대응하는 상하 브러시 간 갭 조절기를 표준 장비
7사이클론 헤드
- 브러시 교환성을 최대 고려한 친절 설계
- 단품주문도가능
※제조사 옵션
- 약한 기판을 처리할 때 필요한 얇은 물건 대응 부품
※제조사 옵션
- 브러시에 말려 들어가는 빈도를 경감
- 원터치 탈착 가능
8흡착 컨베이어
- 오리지널 흡착 벨트와 반송 롤러는 폴리우레탄 제품
- 벨트 및 롤러의 대전압은50V이하를 실현
9휘어진 기판 대응 유닛
※제조사 옵션
- 휘어진 정도가 10mm이하인 기판에 대응하기 위한 유닛입니다.
- 도입 구동 벨트 방식을 채용
10클리어 윈도우
집진기를 제어하는 인버터나 컨베이어 속도 등 장비의 운전 상태를 언제든지 외부에서 눈으로 확인 가능
11
※제조사 옵션
패스라인 변경
900~1100mm까지 대응
12
※제조사 옵션
투입・배출 컨베이어
L900, L615, L325를 구비(사진은 L615 컨베이어 포함)
특징
5연 점착 롤러와 동등한 능력
점착 롤러의 평면에서 이물질을 제거하는 능력은 물론, 패턴 회로 형성 후의 홈에도 브러시가 따라다녀
제거 능력이 탁월합니다.
특히 AOI공정에서 직행률이 좋아집니다.(오류정보 감소)
가동비용절감
소모 부품은 브러시 8개뿐이어서 비용 절감에 공헌합니다.
(브러시 교환 기준: 600h~1800h)
다양한공정에서활약
브러시식 사이클론 클리너(VSC) 도입에 의한 효과를 사례로 소개합니다.
| 공정 |
효과의사례 |
| 드라이필름부착전 |
노광불량의원인이되는먼지를 96% 이상제거. |
| 노광 전 |
노광불량의원인이되는먼지를 96% 이상제거. |
| AOI 전 |
AOI 의 오류정보가 격감, AOI・검증 장비 사이에 이르기까지 시너지 효과가 발생하여 정체 기판이 없어졌다. |
| 조화 전 |
황산조 유지 보수 빈도가 1/3 이하로 감소. |
| V커트・Routing・드릴 천공 후 |
클린 롤러를 사용하면 점착 필름이 바로 잘라낸 부스러기 투성이가 되어 클리닝이 따라잡지 못하기에VSC로 교체. |
| 합지 클리닝 |
물 세정과 동등한 효과가 얻어지기 때문에 물 세정에서VSC로 교체→적시에 세정 가능. 합지 표면에 꽂혀 있는 동편 98% 이상 제거. |
| 레이저 날인 후 물 세정 전 |
물 세정조 안의 인이 격감했고 세정조 유지보수 빈도가 1/5 이하로 감소 |
| 패턴 형성 전반 |
L/S75μm이하 클린 롤러에서는 처리가 곤란한 패인 부분도VSC에서는 긁어내어 제진. |