直描式露光装置 INPREX Roll to Rollモデル

ワンタイムスキャン／ダイレクト露光
独自レーザーユニットに、先進レンズ設計技術を融合した新描画エンジンを搭載します。高品位・高出力のレーザーヘッドを基板幅でライン配置することにより、ワンタイムスキャンを実現し高いスループットを可能にします。また、ヘッド間でのつなぎやズレのない高品質露光を実現します。