コンタクト式露光装置 ADEX

幅広いラインナップを持つコンタクト式露光装置です。
ソルダーレジスト用：ADEX5000/6000シリーズ
外層用：ADEX3000シリーズ（1灯式・振分け）、ADEX4000／5000シリーズ（2灯式）
内装用：ADEX2300シリーズ

ADEXシリーズ

ソルダーレジスト用：レジスト工程向け10Kwの平行光源を搭載した全自動式コンタクト露光機です。水銀ランプ光源によるブロード波長はその露光結果に根強いニーズがあります。

外層用：回路形成用の全自動式コンタクト露光装置です。適用する基板の大きさに合わせて各種機種をラインナップ。

内層用：内層基板生産に特化した平行光源採用の両面同時自動露光装置です。上下にセットしたフィルムマスク同士を画像処理により位置合わせし、基板両面を同時露光します。LED光源機は大型基板に対応します。