アライメントマーキング装置

AMRK1000 / AMRK2000（Large Size)

内層基板の基準穴加工（スルーホール）工程を削減します！

・露光装置に連接設置し、基板にラミネートされたDFR（ドライフィルムレジスト）へUV露光を照射。基準マークを形成します。
・マークは基板面の2か所、表裏に計4点を形成できます。