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露光方式
真空密着方式
基板サイズ
―
分割露光
露光光源
2灯式/5kW超高圧水銀ランプ
解像性能
SRO = Φ50 μm
アライメント精度
±5μm
流れ方向
右→左(R流れ)
1灯式/5KW超高圧水銀ランプ
L/S = 40/40μm
±10μm
左→右(L流れ)
250×330~535×635mm
5KW超高圧水銀ランプ
L/S = 75/75μm
250×250~535×635mm
100×100~350×350mm
L/S = 30/30μm
ダイレクトイメージング方式
Laser Diode / 405nm
L/S = 35/35μm
±15μm
左→右(L流れ)