コンタクト式露光装置

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英語名	contact exposure system, contact exposure system equipment
読み方	こんたくとしきろこうそうち
解説	コンタクト式露光装置とは、転写する図柄を描いたマスクを直接基板に接触させて、配線パターンを転写する露光装置のこと。