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露光装置

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露光装置

英語名 exposure system, exposure equipment
読み方 ろこうそうち
解説 露光装置とは、光を利用して特定の材料や表面にパターンや画像を転写するための装置を呼ぶ。この装置は、半導体や液晶、PCBなど様々な分野で使用される。PCB分野においては、フィルムマスクなどの原版イメージを、写真と同じ原理で転写する仕組みを持ったコンタクト露光装置や、CADデータを用いて製作した描画データをレーザーダイオードなどの光源により、直接的に描画するダイレクト式露光装置(もしくは デジタル式露光装置)などがある。