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内層用両面アライメントマーキング装置 AMRK1000 / AMRK2000(Large Size)
基準穴のない内層基板のDFR上にアライメント用のマークを紫外線露光によって形成する装置です。 この装置により片面→反転片面構成の露光装置では必須であった基準穴加工が不要になります。
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