H1

製品ラインナップ<DI>

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『品質』・『スピード』・『安定性』 独自技術で世界最高のシステムバランスを実現。

世界の先進ユーザーが選び続ける世界初の量産ライン対応の全自動ダイレクトイメージング露光装置 『INPREX』。
高精細描画と高速露光を高い次元で両立。またメカニカルクランプやオートフォーカス機能により、イレギュラー基板への対応力が格段に向上し、装置停止時間を極限まで削減。
圧倒的な一日当たりの生産量を達成し、世界の先進基板メーカー様の量産ラインで、安定稼働の実績を積み重ねております。
INPREXは世界最高のシステムバランスを実現した新世代ダイレクト露光装置です。

 

IP-4

  


L/S = 4/4μm*
PKG
30W/40W
405 nm
*Champion

IP-6 9500

  


L/S = 6/6μm
PKG
30W/40W
405 nm

IP-6 9000

  


L/S = 6/6μm
PKG
30W/40W
405 nm

IP-8 8000

  

L/S = 8/8μm
PKG
30W/40W
405 nm

IP-10 7000

  


L/S = 10/10μm
MSAP
30W/40W
405 nm

IP-12 6000

  

L/S = 12/12μm
MSAP
30W/40W
405 nm

IP-15 L3800

  

L/S = 15/15μm
HDI/MLB
45W/54W
405 nm

IP-15 UHS

  


L/S = 15/15μm
HDI
50W
405 nm

IP-35 1000

  


L/S = 35/35μm
MLB
40W
405 nm

IP-12 HR

 

  


L/S = 12/12μm
FPC
40W
405 nm

IS-4000H

  

SRO=φ50μm
PKG/HDI
30W/40W
405 + 375 nm

DE-8WH

  


L/S = 2/2μm
FO-WLP
8W×8
405 nm

DE-6UHⅢ

  


L/S = 5/5μm
PKG
8W×6
405 nm

DE-7UHE

  

L/S = 8/8μm
WLCSP
8W×7
405 nm

DE-7ES

  

L/S = 15/15μm
HDI
8W×7
405 nm