アドテック認定中古機

露光方式

ダイレクトイメージング方式

基板サイズ

334×334～534×622mm

露光光源

Laser Diode / 405nm

解像性能

L/S = 12/12μm

アライメント

±10μm

流れ方向

右→左（Ｒ流れ）※片側機

露光方式

真空密着方式

基板サイズ

250×300～510×610mm

露光光源

2灯式/5kW超高圧水銀ランプ

解像性能

SRO = Φ50 μm

アライメント

±5μm

流れ方向

右→左（Ｒ流れ）

露光方式

真空密着方式

基板サイズ

250×300～535×625mm

露光光源

1灯式/5kW超高圧水銀ランプ

解像性能

L/S = 40/40μm

アライメント

±10μm

流れ方向

左→右（L流れ）

露光方式

加圧密着方式

基板サイズ

250×300～535×625mm

露光光源

1灯式/5kW超高圧水銀ランプ

解像性能

L/S = 40/40μm

アライメント

±10μm

流れ方向

①：左→右（L流れ）
②：左→右（L流れ）

露光方式

加圧密着方式

基板サイズ

250×300～535×625mm

露光光源

1灯式/5kW超高圧水銀ランプ

解像性能

L/S = 40/40μm

アライメント

±10μm

流れ方向

左→右（L流れ）

露光方式

真空密着方式

基板サイズ

250×300～535×625mm

露光光源

2灯式/10kWメタルハライドランプ

解像性能

φ100μm

アライメント

±10μm

流れ方向

左→右（Ｌ流れ）

露光方式

真空密着方式

基板サイズ

254×305～559×635mm

露光光源

2灯式/10kWメタルハライドランプ

解像性能

L/S = 75/75μm

アライメント

±10μm/±5μm

流れ方向

①：右→左（R流れ）
②：左→右（L流れ）

露光方式

真空密着方式

基板サイズ

250mmまたは500mm

露光光源

2灯式/5kW超高圧水銀ランプ

解像性能

L/S = 12/12μm

アライメント

±10μm

流れ方向

①：右→左（R流れ）
②：左→右（L流れ）

露光方式

真空密着方式

基板サイズ

 250×330～535×635mm

露光光源

5kW超高圧水銀ランプ

解像性能

L/S = 75/75μm

アライメント

±10μm

流れ方向

右→左（Ｒ流れ）

露光方式

真空密着方式

基板サイズ

 250×250～535×635mm

露光光源

5kW超高圧水銀ランプ

解像性能

L/S = 75/75μm

アライメント

±10μm

流れ方向

―

露光方式

直接描画方式
（ダイレクトイメージング方式）

基板サイズ

334×334～551×640mm

露光光源

Laser Diode / 375+405nm

解像性能

L/S ＝ 15/15 μm

アライメント

±7.5μm

流れ方向

①：右→左（R流れ）
②：左→右（L流れ）