大型装置の開発可能なクリーンルーム、万全な解析・評価設備
装置が稼働し、優れた性能を安定して保つためには、万全な品質評価体制が必須です。
精密部品の加工精度評価から、装置としての性能評価に至るまで解析・評価できる評価体制を築いています。
大型クリーンルーム
（JIS B9920 / ISO 14644-1 規格準拠）
調整室
クリーン度 クラス 1,000
恒温湿制御
免震床
評価室
クリーン度 クラス 1,000
恒温湿制御
免震床
評価設備
保有評価設備の一例
| 環境設備 |
恒温恒湿槽、レーザマーキング装置
DFRラミネータ、SR印刷機、現像処理設備 |
| 測定器（光学系） |
分光分布計、レーザ干渉計、画像測定器、走査式電子顕微鏡(SEM)
ガラス傷検査機、UV照度計、UV積算光量計、X線量測定器 、レーザ測長器
赤外線サーモグラフィ |
| 測定器（形状系） |
精密真円度測定機、表面粗さ測定器、メッキ厚測定器、騒音計 、風速計
三次元座標測定機、圧力分布測定器、パーティクルカウンタ、微細振動測定器 |
| 測定器（電気系） |
静電気試験器、漏れ電流測定器、絶縁耐圧試験器 、静電気測定器 |