直描式露光装置 INPREX MLBモデル

MLB基板に要求される、高いスループットと優れた線幅品質の両立を実現します。
ツインステージによる高生産モデルやAIサーバ基板等に対応した、大判,厚板対応モデルなど、MLB領域に幅広くソリューションを提供できます。

IP-15 UHS / IP-15 UHT / IP-15 LUHS / IP-24 SW / IP-35 1000H / IP-35 L1000H

ワンタイムスキャン／ダイレクト露光
独自レーザーユニットに、先進レンズ設計技術を融合した新描画エンジンを搭載します。高品位・高出力のレーザーヘッドを基板幅でライン配置することにより、ワンタイムスキャンを実現し高いスループットを可能にします。また、ヘッド間でのつなぎやズレのない高品質露光を実現します。